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北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司在中国本土半导体设备制造行业一直有着光辉的历史,继承了原北京建中五十余年的微电子工艺设备研发和设计制造经验,不仅是国家重点工程配套定点单位,而且是北京北方微电子设备基地的核心单位,先后为我国三十多条国产化半导体生产线配套供应前工序设备,连续承担并完成了国家下达的“六五”、“七五”、“八五”、“九五”等大规模集成电路重点设备的科技攻关任务。
七星电子微电子设备分公司通过与国际上知名公司的广泛合作,产品的可靠性和性能有较大提高,目前已形成氧化扩散系统、CVD系统、干法刻蚀系统及清洗系统四大系列数十种型号的产品,广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域,以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。
近年来,微电子设备分公司研制的国内第一台8″立式扩散炉通过了国家验收,即将进入生产线通线量产;自主研制的为SOI工艺特定设计的国内第一台超高温扩散炉也进入了生产线,温度之高、控温之精确和稳定性达到了国内领先水平。
在全球太阳能光伏产业蓬勃发展的同时,凭借在半导体集成电路行业内的积累,微电子设备快速成长为国内太阳能电池片生产设备生产商中的佼佼者。随着太阳能电池片产业的高速增长,公司不断加大技术投入,提高设备水平,在国内太阳能电池片制造的前道工序设备中已逐渐成为主要的供应商。公司主要产品太阳能电池片湿法腐蚀和清洗设备(包括自动制绒面设备、硅片自动清洗设备、自动PSG祛除设备,石英附件清洗设备)、扩散设备、化学气相淀积设备等在国产设备市场上具有很强的竞争力,已经装配到国内多条生产线上。 展望未来,微电子设备分公司将持续以技术的创新和发展带动生产,发展成为国内外知名的半导体专用设备制造商。
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